中國(guo)國(guo)家電子超純水(shui)規格GB/T1146.1-1997電子級水(shui)的技術指(zhi)標應符合(he)表中的規
電子(zi)級超純(chun)水設備常(chang)用工藝(水質符合美(mei)國ASTM標準，電子(zi)部(bu)超純(chun)水水質標準（18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四級)
1.預處(chu)理－反滲透－ 水(shui)(shui)(shui)箱－陽(yang)床(chuang)－陰(yin)床(chuang)－混(hun)合床(chuang)－純(chun)化水(shui)(shui)(shui)箱－純(chun)水(shui)(shui)(shui)泵(beng)－紫外線殺菌(jun)器－精制混(hun)床(chuang)－精密過濾(lv)器－用(yong)水(shui)(shui)(shui)對(dui)象
2.預(yu)處理(li)－一級(ji)(ji)反滲(shen)(shen)透(tou)－加藥機（PH調節）－中間水(shui)箱(xiang)－第二(er)級(ji)(ji)反滲(shen)(shen)透(tou)（正電荷反滲(shen)(shen)膜）－純(chun)化水(shui)箱(xiang)－純(chun)水(shui)泵－紫(zi)外線(xian)殺菌器－0.2或0.5μm精密過(guo)濾器－用水(shui)對象
3.預處理－反滲透－中間水(shui)(shui)(shui)箱(xiang)－水(shui)(shui)(shui)泵－EDI裝置－純化系統水(shui)(shui)(shui)箱(xiang)－純水(shui)(shui)(shui)泵－紫(zi)外(wai)線殺菌器－0.2或0.5μm精密過濾器－用(yong)水(shui)(shui)(shui)對象(xiang)
4.預處理(li)－反滲透(tou)－中間水(shui)(shui)(shui)(shui)箱－水(shui)(shui)(shui)(shui)泵(beng)－EDI裝置(zhi)－純化水(shui)(shui)(shui)(shui)箱－純水(shui)(shui)(shui)(shui)泵(beng)－紫外線殺(sha)菌器－精制混床－0.2或(huo)0.5μm精密(mi)過(guo)濾器－用水(shui)(shui)(shui)(shui)對(dui)象
電(dian)子級超純水設備應(ying)用(yong)場合：
1.GMP純化水半導體材料、器件、印刷電路(lu)板和(he)集成電路(lu)；
2.超純(chun)(chun)材料和超純(chun)(chun)化學試劑；
3.實驗室(shi)和中試(shi)車間；
4.汽車、表面拋光處(chu)理；
5.其他高(gao)科技精微產(chan)品。
